FUJI，富士壓力傳感器

FUJI，富士壓力傳感器

EPL4PC-R3S 500 7 -40 to 125 20 to 106.7 5.0±0.25 0.789 to 4.211 壓力 
EPL6GC-R3S 500 7 -40 to 125 25 to 242 5.0±0.25 0.5 to 4.5 壓力
半導(dǎo)體壓電阻型
半導(dǎo)體壓電阻抗擴(kuò)散壓力傳感器是在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力，通過外力（壓力）使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗效果，從而使阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電信號。 
靜電容量型
靜電容量型壓力傳感器，是將玻璃的固定極和硅的可動極相對而形成電容，將通過外力（壓力）使可動極變形所產(chǎn)生的靜電容量的變化轉(zhuǎn)換成電氣信號。 （E8Y的動作原理便是靜電容量方式，其他機(jī)種采用半導(dǎo)體方式）。
有助于系統(tǒng)整體的小型化。另外，其適用的壓力范圍大，用途廣泛。
壓力測量
通過數(shù)字微調(diào)高精度
的偏移量誤差：由于壓力傳感器在整個壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定，因此變換器擴(kuò)散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
其次是靈敏度誤差：產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值，靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值，那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過程的變化。

FUJI傳感器，富士壓力傳感器
三是線性誤差：這是個對壓力傳感器初始誤差影響較小的因素，該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性，但對于帶放大器的傳感器，還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線，也可以是凸形曲線稱重傳感器。
zui后是滯后誤差：在大多數(shù)情形中，壓力傳感器的滯后誤差*可以忽略不計，因為硅片具有很高的機(jī)械剛度。般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
可支持大范圍的壓力測量，滿刻度100kPa - 300kPa
富士電機(jī)的壓力傳感器將壓敏電阻、調(diào)節(jié)電路、EMC保護(hù)集成到同芯片中，
傳感器芯片具備過電壓保護(hù)電路、電磁波遮蔽電路、浪涌保護(hù)電路，尤其是浪涌，滿足標(biāo)準(zhǔn)ISO7637-level4
具備Vcc、Vout、GND配線斷開時的自診斷檢測功能
通過EPROM的冗余性確保高性
EPL4PC-R3S 500 7 -40 to 125 20 to 106.7 5.0±0.25 0.789 to 4.211 壓力 
EPL6GC-R3S 500 7 -40 to 125 25 to 242 5.0±0.25 0.5 to 4.5 壓力
半導(dǎo)體壓電阻型
半導(dǎo)體壓電阻抗擴(kuò)散壓力傳感器是在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力，通過外力（壓力）使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗效果，從而使阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電信號。 
靜電容量型
靜電容量型壓力傳感器，是將玻璃的固定極和硅的可動極相對而形成電容，將通過外力（壓力）使可動極變形所產(chǎn)生的靜電容量的變化轉(zhuǎn)換成電氣信號。 （E8Y的動作原理便是靜電容量方式，其他機(jī)種采用半導(dǎo)體方式）。
有助于系統(tǒng)整體的小型化。另外，其適用的壓力范圍大，用途廣泛。
壓力測量
通過數(shù)字微調(diào)高精度
的偏移量誤差：由于壓力傳感器在整個壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定，因此變換器擴(kuò)散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
其次是靈敏度誤差：產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值，靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值，那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過程的變化。
三是線性誤差：這是個對壓力傳感器初始誤差影響較小的因素，該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性，但對于帶放大器的傳感器，還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線，也可以是凸形曲線稱重傳感器。
zui后是滯后誤差：在大多數(shù)情形中，壓力傳感器的滯后誤差*可以忽略不計，因為硅片具有很高的機(jī)械剛度。般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
可支持大范圍的壓力測量，滿刻度100kPa - 300kPa

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